催化燃燒設備屬于熱力破壞法。其機理是氧化和熱裂解、熱分解廢氣中的有機成分，使其轉化成的CO2和H2O。催化燃燒技術為污染物的治理提供的經濟解決辦法，有機廢氣采用催化燃燒處理具有凈化效率高、能耗低、無二次污染等優點。催化燃燒的凈化效率優良，是高濃度、小流量有機廢氣凈化的技術。
催化燃燒設備原理：
催化燃燒設備是典型的氣固相催化反應，其實質是活性氧參與的深度氧化作用。在催化凈化過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑表面具有吸附作用，使反應物分子富集于表面提高了反應速率，加快了反應的進行；借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量熱能，從而達到去除廢氣中的有害物的方法。
活性炭吸附脫附+催化燃燒廢氣處理設備，是將吸附濃縮單元和催化燃燒（CO爐）單元有效結合的一種廢氣處理方法。主要應用于較低濃度有機氣體且不宜采用直接燃燒或吸附回收法處理的有機廢氣，尤其適用于大風量低濃度的廢氣處理。
活性炭吸附倉經過吸附一段時間達到飽和后，啟動系統的脫附催化燃燒裝置，通過高溫將吸附在活性炭表面的有機物脫附，并經催化燃燒反應轉化產生CO2和水蒸氣等無害物，催化燃燒過程中釋放的熱量，經過熱交換部分回用到脫附熱氣流中，當脫附達到一定程度時放熱跟脫附加熱達到平衡，系統在不外加熱量的情況下完成活性炭脫附過程。
催化燃燒設備主要由阻火器，熱交換器，催化反應床，風機等部件組成。與直接燃燒相比，催化燃燒溫度低。
催化燃燒設備使用的是表面具有貴金屬或貴金屬氧化物的催化劑（通常是鉑、鈀等貴金屬化合物），可以在較低的溫度下將廢氣中的有機污染物氧化成二氧化碳和水。這里需要注意的是催化劑的加入并不能改變原有的化學平衡，只是提高了化學反應的速度，而在反應前后，催化劑本身的性質并不發生變化。